容器組件
IWAKI 易威奇 FLP-75W氣動低脈動波紋管泵
- 產品名稱：IWAKI 易威奇 FLP-75W氣動低脈動波紋管泵
- 產品型號：FLP-75W型
- 產品廠商：IWAKI 易威奇
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簡單介紹
IWAKI 易威奇 FLP-75W氣動低脈動波紋管泵
IWAKI 易威奇 FLP-75W氣動低脈動波紋管泵
IWAKI 易威奇 FLP-75W氣動低脈動波紋管泵
的詳細介紹IWAKI 易威奇 FLP-75W氣動低脈動波紋管泵
IWAKI 易威奇 FLP-75W氣動低脈動波紋管泵
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IWAKI 易威奇 FLP-75W氣動低脈動波紋管泵
IWAKI 易威奇 FLP-75W氣動低脈動波紋管泵
氣動低脈動波紋管泵 FLP系列 不需要阻尼器，實現低脈動，有助于降低總成本 它通過適用于單晶圓工藝的出色負載跟隨性實現穩定工作
產品特點
低脈動：根據激光位移傳感器和接近開關的信號，控制器始終跟蹤波紋管的位置。通過控制器判斷左右波紋管的*合適相位覆蓋量，并通過切換電磁閥來減小脈動。
優異的負載跟隨性，適用于單晶圓工藝：通過執行相位控制改善了負載波動的可跟隨性。特別是在頻繁發生壓力波動的生產線中，例如單張紙加工，其高負荷跟隨能力實現了排出量和排出壓力的穩定操作。
無需阻尼器，節省空間：由于不需要安裝阻尼器，因此實現了裝置的節省空間。管道工作也很容易，可以減少昂貴的管道材料，如氟樹脂配件，有助于更小更輕的設備。
**設計：波紋管焊接結構可防止液體泄漏，即使波紋管破裂，也會采用檢測漏液的泄漏傳感器，因此您可以放心使用。
產品規格
| *大放電量L/min | 92 | ||
| 工作液溫度℃ | 5 ? 100 | 101 ? 150 | 151 ? 180 |
| *大氣壓范圍MPa | 0.1 ? 0.5 | 0.1 ? 0.4 | 0.1 ? 0.3 |
| 自吸能力注2m | 1 | ||
| *大液體輸送粘度mPa?s | 50 | ||
| 環境工作溫度/濕度 ℃ /%RH | 0 ? 60℃／ 30 ? 60%RH（無冷凝） | ||
| 存儲環境溫度/濕度 ℃ /%RH | -10 ? 60℃／ 20 ? 70%RH（無冷凝） | ||
| 安裝環境 | 室內（但塵土較少的環境） | ||
| 使用條款 | 間歇性操作 | ||
| 使用方法 | 驅動空氣外部強制切換系統 | ||
| 吸入側連接管道端口直徑 | φ 31.8× φ 28.0mm（PFA） | ||
| 排出側連接管道端口直徑 | φ 25.4× φ 22.2mm（PFA） | ||
| 供氣連接口直徑 | Rc1/2 | ||
| 重量kg |
42 |
||