HORIBA堀場制作所  壓差式質量流量控制器D522MG

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這款技術先進的壓差式質量流量控制器具備壓差檢測功能和壓電驅動閥。

高性能 CRITERION D500 適用于一系列先進的半導體制程，具有壓力補償，多量程/多氣體/多壓力，G-LIFE（集成限流器方程的氣體定律校驗）自診斷功能，高精度、快速響應、寬量程、全金屬等特點。

概要

• 壓力不敏感性能
  高性能壓力補償新功能簡化了供氣系統

• 多量程、多氣體、多壓力解決方案
  新功能允許用戶改變氣體類型、滿量程流量和供壓范圍

• G-LIFE（集成限流器方程的氣體定律校驗）自診斷功能
  先進的工藝健康監控功能允許操作人員自行進行測試，即使提高通過量，通常也能在三秒或更短的時間內完成測試。

• 高精度
  先進的三維調整功能提高了工藝氣的流量精度

• 快速響應
  響應時間：< 0.8 秒
  可實現**、穩定的流量控制

• 動態范圍
  控制范圍廣：0.2% 滿量程 至 100% 滿量程

配置