HORIBA堀場(chǎng)制作所 平面碳傳感器電導(dǎo)率計(jì)FS-09F-1/2

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研磨液濃度控制的理想選擇

有效保持恒定的研磨液稀釋度。保持適當(dāng)?shù)碾妼?dǎo)率值有助于保持晶圓拋光制程中的工藝穩(wěn)定性。即使是高粘度樣品液體（如 CMP 研磨液）也可以正常測(cè)量，因?yàn)槠涫褂玫膫鞲衅鹘Y(jié)構(gòu)降低了樣品液體附著在電極上的風(fēng)險(xiǎn)。同時(shí)，傳感器由具有良好耐化學(xué)性的接液材料制成，符合半導(dǎo)體制程的清潔度要求。此外，它還可以用于半導(dǎo)體制程開(kāi)發(fā)階段的引入和特殊化學(xué)藥液的電導(dǎo)率控制。

概要

高精度/高穩(wěn)定性

• 測(cè)量范圍：0 至 2,000 μS/cm, 0 至 10,000 μS/cm

• 重復(fù)性：± 0.5% F.S.，± 1.0% F.S.

無(wú)金屬污染

由于電極材料采用特殊碳制成，因此無(wú)需擔(dān)心金屬洗脫污染問(wèn)題。

配備濃度換算功能

通過(guò)輸入化學(xué)藥液濃度和電導(dǎo)率之間的關(guān)系以及溫度特性，可實(shí)現(xiàn)兩種不同類(lèi)型的濃度換算。
特別適用于低濃度化學(xué)品的稀釋控制。

節(jié)省空間

通過(guò)縮小傳統(tǒng)電導(dǎo)率傳感器的尺寸，提高了安裝布局的自由度。