HORIBA堀場制作所 平面碳傳感器電導率計FS-09F-1/2-200

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研磨液濃度控制的理想選擇

有效保持恒定的研磨液稀釋度。保持適當的電導率值有助于保持晶圓拋光制程中的工藝穩定性。即使是高粘度樣品液體（如 CMP 研磨液）也可以正常測量，因為其使用的傳感器結構降低了樣品液體附著在電極上的風險。同時，傳感器由具有良好耐化學性的接液材料制成，符合半導體制程的清潔度要求。此外，它還可以用于半導體制程開發階段的引入和特殊化學藥液的電導率控制。

概要

高精度/高穩定性

• 測量范圍：0 至 2,000 μS/cm, 0 至 10,000 μS/cm

• 重復性：± 0.5% F.S.，± 1.0% F.S.

無金屬污染

由于電極材料采用特殊碳制成，因此無需擔心金屬洗脫污染問題。

配備濃度換算功能

通過輸入化學藥液濃度和電導率之間的關系以及溫度特性，可實現兩種不同類型的濃度換算。
特別適用于低濃度化學品的稀釋控制。

節省空間

通過縮小傳統電導率傳感器的尺寸，提高了安裝布局的自由度。