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容器組件

真空泵

  • 產品名稱: 真空泵
  • 產品型號: MU-PE/HE系列
  • 產品廠商:日本樫山kashiyama
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簡單介紹

真空泵

的詳細介紹

日本樫山kashiyama     真空泵     MU-PE/HE系列    電/微   詳詢   趙13062644508


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主要規格和參數:
抽氣速率:提供多種型號以滿足不同需求,如 MU100PE/HE *大抽速為 1660L/min,MU300PE/HE 為 5000L/min,MU600PE/HE 可達 10,000L/min。
極限壓力:性能較好,如 MU300PE/HE 和 MU600PE/HE 的極限壓力可達 0.5Pa,MU100PE/HE 的極限壓力為 3.0Pa。
電源:采用三相 AC200 - 220V(50/60Hz)電源。
功率:不同型號功率有所不同,MU100PE/HE 功率為 0.6kW,MU300PE/HE 為 0.8kW,MU600PE/HE 為 0.85kW。
外形尺寸與重量:MU100PE/HE 外形尺寸為 630×350×360mm,重量 70kg;MU300PE/HE 外形尺寸為 630×350×520mm,重量 110kg;MU600PE/HE 重量為 130kg。
產品優勢:
高效節能:配備低功耗電機,運行能效比高,相比傳統真空泵節能效果顯著。并且采用變頻驅動(VFD)技術,可依據實際需求靈活調整抽氣速度,避免不必要的能耗。
潔凈無油:運用無油運轉設計,通過精密嚙合的轉子實現氣體的壓縮和傳輸,整個過程無需潤滑油,從根源上杜絕了油蒸氣對工藝腔體的污染,能滿足對環境潔凈度要求極高的工藝,如半導體制造中的光刻、蝕刻等環節。
維護簡便:采用模塊化結構設計,內部構造簡潔,檢修流程簡單易行。維護人員能夠快速定位故障模塊并進行更換,無需復雜的拆卸和組裝過程,有效降低了維護成本和設備停機時間。
運行穩定:該系列真空泵的摩擦部件少,具備良好的耐用性,可承受長時間連續運轉,在長期使用過程中不易出現故障。同時,運行時噪音低、振動小,能夠為工作環境提供安靜、穩定的條件,減少對周邊設備和人員的影響。













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