容器組件
真空泵
- 產品名稱：真空泵
- 產品型號：MU-XE系列
- 產品廠商：日本樫山kashiyama
- 產品文檔：
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簡單介紹
真空泵
的詳細介紹
日本樫山kashiyama 真空泵 MU-XE系列 電/微 詳詢 趙13062644508
產品特點
無油潔凈：采用無油運轉設計，通過精密嚙合的轉子實現氣體壓縮，全程無需潤滑油，避免了油蒸氣對工藝腔體的污染，特別適合對潔凈度要求極高的工藝，如半導體制造、液晶顯示器生產、LED 制造和光伏產業等。
抽氣性能優越：不同型號的抽速范圍廣，如 MU100XE 抽速為 1660L/min，MU1200XE *大抽速可達 20,000L/min，能快速抽取氣體，滿足不同負載的真空需求，縮短抽氣時間，提高生產效率。極限壓力低，例如 MU100XE 極限壓力為 1.5Pa，MU1200XE 極限壓力為 0.5Pa，可獲得高真空度，滿足對真空環境要求苛刻的工藝。
節能環保：配備低功耗電機，運行能效比優于同類產品，降低了能耗與運行成本。同時采用變頻驅動（VFD）調節轉速，可根據實際需求調整抽氣速度，進一步節能，能耗較油封泵可降低 30%-50%。
結構緊湊：尺寸小巧，如 MU100XE 尺寸為 450×230×275mm，重量約 60kg；MU1200XE 尺寸為 625×275×580mm，重量約 165kg，占地面積小，便于安裝在空間有限的設備中，適合設備集成和改造項目。
維護便捷：采用模塊化結構，檢修流程簡單，無需復雜的拆卸和組裝過程。部件壽命長，維護周期長，可降低維護成本和停機時間。維護人員可快速定位和更換故障模塊，減少設備停機維修時間，提高設備利用率。
運行穩定：摩擦部件少，可承受連續運轉，不易出現故障。且噪音低、振動小，連續排氣無脈動，能為工作環境提供較好的條件，減少對工作場所的噪音污染和振動干擾。
智能控制：具有實時參數顯示功能，可通過觸摸屏或遠程接口（Modbus / 以太網）輸出真空度、溫度、功耗等數據。還配備自診斷系統，通過振動、溫度傳感器對異常情況（如過載或異物進入）進行預警，并自動停機保護，方便操作人員實時監控設備運行狀態，及時發現和處理問題。
主要型號及參數
電源：三相 AC200 - 220V，50/60Hz。
外形尺寸：MU180X 系列尺寸為 550×280×299mm；MU300XE 尺寸為 450×230×520mm；MU600XE 尺寸為 530×230×520mm。
日本樫山kashiyama 真空泵 MU-XE系列 電/微 詳詢 趙13062644508
日本樫山kashiyama 真空泵 MU-XE系列 電/微 詳詢 趙13062644508
產品特點
無油潔凈：采用無油運轉設計，通過精密嚙合的轉子實現氣體壓縮，全程無需潤滑油，避免了油蒸氣對工藝腔體的污染，特別適合對潔凈度要求極高的工藝，如半導體制造、液晶顯示器生產、LED 制造和光伏產業等。
抽氣性能優越：不同型號的抽速范圍廣，如 MU100XE 抽速為 1660L/min，MU1200XE *大抽速可達 20,000L/min，能快速抽取氣體，滿足不同負載的真空需求，縮短抽氣時間，提高生產效率。極限壓力低，例如 MU100XE 極限壓力為 1.5Pa，MU1200XE 極限壓力為 0.5Pa，可獲得高真空度，滿足對真空環境要求苛刻的工藝。
節能環保：配備低功耗電機，運行能效比優于同類產品，降低了能耗與運行成本。同時采用變頻驅動（VFD）調節轉速，可根據實際需求調整抽氣速度，進一步節能，能耗較油封泵可降低 30%-50%。
結構緊湊：尺寸小巧，如 MU100XE 尺寸為 450×230×275mm，重量約 60kg；MU1200XE 尺寸為 625×275×580mm，重量約 165kg，占地面積小，便于安裝在空間有限的設備中，適合設備集成和改造項目。
維護便捷：采用模塊化結構，檢修流程簡單，無需復雜的拆卸和組裝過程。部件壽命長，維護周期長，可降低維護成本和停機時間。維護人員可快速定位和更換故障模塊，減少設備停機維修時間，提高設備利用率。
運行穩定：摩擦部件少，可承受連續運轉，不易出現故障。且噪音低、振動小，連續排氣無脈動，能為工作環境提供較好的條件，減少對工作場所的噪音污染和振動干擾。
智能控制：具有實時參數顯示功能，可通過觸摸屏或遠程接口（Modbus / 以太網）輸出真空度、溫度、功耗等數據。還配備自診斷系統，通過振動、溫度傳感器對異常情況（如過載或異物進入）進行預警，并自動停機保護，方便操作人員實時監控設備運行狀態，及時發現和處理問題。
主要型號及參數
電源：三相 AC200 - 220V，50/60Hz。
外形尺寸：MU180X 系列尺寸為 550×280×299mm；MU300XE 尺寸為 450×230×520mm；MU600XE 尺寸為 530×230×520mm。