容器組件
分光干涉式晶片厚度計(jì)
- 產(chǎn)品名稱：分光干涉式晶片厚度計(jì)
- 產(chǎn)品型號(hào)：SI-F80R 系列
- 產(chǎn)品廠商：KEYENCE基恩士
- 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹
分光干涉式晶片厚度計(jì)
的詳細(xì)介紹
KEYENCE基恩士 分光干涉式晶片厚度計(jì) SI-F80R 系列 電/微 詳詢 趙13062644508
產(chǎn)品特性
即使已貼附背面研磨帶也可測(cè)量晶片厚度
大幅降低圖案的影響
可在生產(chǎn)線上進(jìn)行測(cè)量
自動(dòng)映射整個(gè)晶片的厚度分布
KEYENCE基恩士 分光干涉式晶片厚度計(jì) SI-F80R 系列 電/微 詳詢 趙13062644508
KEYENCE基恩士 分光干涉式晶片厚度計(jì) SI-F80R 系列 電/微 詳詢 趙13062644508
采用近紅外 SLD，即使已貼附 BG 帶也可測(cè)量晶片本身的厚度。即使晶片表面存在由于圖案而產(chǎn)生的顯著差異，也可實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的生產(chǎn)線上測(cè)量。
產(chǎn)品特性
即使已貼附背面研磨帶也可測(cè)量晶片厚度
大幅降低圖案的影響
可在生產(chǎn)線上進(jìn)行測(cè)量
自動(dòng)映射整個(gè)晶片的厚度分布